滲氮熱處理有哪些工藝

滲氮又稱氮化，是指（在一定溫度下當(dāng)爐內(nèi)氣氛達到一定要求的情況下）將氮原子滲入到金屬工件表層，使其表面形成一種能夠提高零件表面硬度和表面耐磨性的一種化學(xué)熱處理工藝。氮化可以分為：氣體氮化、液體氮化和離子氮化。本文主要介紹一種新型氣體氮化工藝——零流量氣體滲氮。

根據(jù)不同工藝載體，氣體氮化可以分為：傳統(tǒng)氣體滲氮（100%NH₃），可控氣體滲氮（NH₃+DissNH₃或NH₃+N₂）和零流量技術(shù)滲氮（100%NH₃）。

傳統(tǒng)氣體滲氮工藝

傳統(tǒng)氣體滲氮工藝由德國AFRY在1923年所發(fā)表，將工件置于爐內(nèi)，在500～550℃時將氨氣通入到爐內(nèi)，保持20～100h，使氨氣分解為原子狀態(tài)的（N）和（H），是（N）和金屬發(fā)生化學(xué)反應(yīng)實現(xiàn)滲氮處理，從而獲得工件表面的高硬度，良好的抗疲勞性能，提高耐腐蝕性。通常滲氮層的厚度為0.02～0.2mm，表面硬度能夠達到1000～1200HV。NH3分解率取決于流量的大小與溫度的高低而有所改變，流量愈大則分解度愈低，流量愈小則分解率愈高，溫度愈高分解率愈高，溫度愈低分解率亦愈低，NH3氣在570℃時熱分解如下：      

NH₃→〔N〕Fe+2/3H₂

分解出來的N，隨而擴散進入鋼的表面。這種傳統(tǒng)的氣體滲氮工藝對于滲氮層深度的控制十分有限，而且由于通入的是100%氨氣，生成的滲氮層由e+g¢+a相疊加而成（見圖1）。通過多年的工業(yè)實踐，通常氮化表層的e+g¢相（通常極其厚且脆）在熱處理完成之后要被打磨掉，增加了額外的生產(chǎn)成本。

可控氣體滲氮工藝

可控氣體滲氮是在50～60年前推出，與傳統(tǒng)的通入100%氨氣的工藝相比呈現(xiàn)出很多的優(yōu)勢。可控氣體滲氮工藝采用氨氣+裂解氨或氨氣+N₂，氣體通過適當(dāng)?shù)谋壤M成和調(diào)節(jié)通入反應(yīng)室，可以得到所期望的滲氮層，這里包括e+g¢+a相，g¢+a相或a相，并且在一定區(qū)域可以得到希望的滲氮層厚度；滲氮層的組成由溫度T和氮勢Kn兩個參數(shù)控制。圖2是兩種工藝氣體的工藝圖。由于滲氮層可以控制，可以避免滲氮層的缺陷產(chǎn)生。從而省略熱處理后e+g¢+a相滲氮層進行打磨的工序，降低生產(chǎn)成本。然而，這種采用兩種成分氣體的滲氮工藝和傳統(tǒng)工藝一樣對氣體的消耗量也是相當(dāng)大的。

此外，這種工藝還存在其他的弊端。由于氨氣NH₃+氮氣N₂的滲氮工藝存在氮化不平衡特性，使它比氨氣+裂解氨的滲氮工藝在滲氮層生成控制精度要差一些。但是，使用氨氣+裂解氨需要安裝氨氣裂解器，也會增加額外成本。

零流量滲氮工藝

零流量滲氮工藝是經(jīng)過多年實踐開創(chuàng)的一個新技術(shù)，所謂的零流量是指在可控滲氮過程中只使用氨氣一種工藝氣體。與氨氣+裂解氨或氨氣+氮氣的工藝相比，零流量更為簡單。通過調(diào)節(jié)進入氮化室氨氣的流量來控制氮化過程中的氮勢Kn,零流量工藝*先進性就在于氮化過程中在某一時刻進入氮化室的氨氣流量為零，這一點擴大了氮化室中氣氛成分的分解范圍，也就是增加了氮勢Kn。

零流量簡單控制原理就是通過氣體分析儀設(shè)定的目標(biāo)來控制氨氣注入閥周期性的開關(guān)來維持氮化室內(nèi)需要的氣體成分，也就是氮勢Kn的設(shè)定值。

零流量這個概念是基于實踐和理論而得出的，通過在試驗室使用石英管氮化試驗設(shè)備和在工廠使用帶有金屬殼體氮化室，并配有循環(huán)風(fēng)機的真空氮化爐中進行試驗。在兩種氮化環(huán)境中分別使用氨氣（零流量），氨氣+裂解氨和氨氣+氮氣三種工藝氣體對樣件進行氮化處理。

通過在這兩種試驗設(shè)備中進行試驗得出的數(shù)據(jù)表明滲氮層的生長速度只取決于滲氮室中的氣體成分或氮勢Kn，它即與注入氮化室中的工藝氣體（氨氣、氨氣+裂解氨或氨氣+氮氣）無關(guān)，也和氮化環(huán)境無關(guān)。這個實驗也證明在真空氮化爐中進行零流量滲氮過程中，周期性的切斷氨氣的注入，對滲氮層的生長不會產(chǎn)生影響。